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Der ModuS U6
BiCMOS-Hochvolt-Prozess bietet
Bauelemente, die den Entwurf von Mixed-Signal- Schaltungen für einen weiten Anwendungsbereich stark unterstützen.
Es handelt sich um eine vollimplantierte BiCMOS-Technologie. Diese ermöglicht anspruchsvolle
Analog- und Mixed-Signal- Schaltungen mit Versorgungsspannungen von 1
V bis
80 V, mit sehr weiten Strombereichen und hohen Verstärkungen,
mit einer großen Anzahl vielseitiger Komponenten,
mit sehr guten Rauscheigenschaften und geringen Offsetwerten und
nicht zuletzt eine stark vereinfachte Prozesskomplexität. Zusätzliche Ebenen erlauben die Integration von
Schaltungen mit komplementären LDMOS-Transistoren mit niedrigem Einschaltwiderstand
und geringer Leistungsaufnahme. PREMA produziert derzeit ICs auf
150mm (6") und 200mm (8") Wafern mit Auflösungen herunter
bis zu 250nm.
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Wesentliche Eigenschaften:
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technisch führender BiCMOS-Prozessablauf
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Versorgungsspannung bis zu 80 V
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hervorragende Transistoreigenschaften
vom pA-Bereich bis zu 1 A,
und Durchbruchspannungen bis zu 135 V
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Realisierung hochwertiger Analog-/Mixed-Signal-Schaltungen
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digitale Funktionen in CMOS oder
in kompakter Ultra-Low-Power-CCL-Logik
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kurze Durchlaufzeiten
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Mit dem ModuS U6-Prozess können Transistoren gefertigt werden, die mit einem
Standard-BiCMOS-Prozess gar nicht oder nur sehr aufwändig zu produzieren sind, wie
NMOS / PMOS / DMOS-Transistoren, Super-Beta-NPN, P-Kanal-JFET,
Photodioden, Transistoren mit integrierter Schottky-Diode, Super-Beta-
Fototransistoren und CCL-Gatter.
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